アプリケーション

用途:半導体製造装置、FPD製造装置、二次電池製造装置、実装機、精密昇降ステージ 等

ZGシリーズ

単軸使用可能な高精度・低振動Z軸ガイド

ZGシリーズ - 旋回アーム:剛性アップで高速化、タクトタイム短縮を実現。

ボンダー

高剛性と微小ころがり抵抗の両立により偏荷重に強く正確な加圧コントロールを実現。

電動アクチュエータ

低振動なガイドでサブミクロン単位での微小送りが可能に。「ミリオンアクチュエータ」にてユニットとしても販売中です。


GNZシリーズ

フランジタイプで昇降ステージに最適なZ軸ガイド

GNZシリーズ - 検査装置:高剛性・低振動によりカメラの整定が早くタクトタイム短縮を実現。

露光装置用精密Zステージ

精度向上により、サブミクロンの位置決めを実現。

プローバー用Zステージ

ガイド剛性アップにより、ステージに偏荷重が加わった際のタワミ低減。


GBTTシリーズ

リテーナレスのロングストローク対応ガイド

サーボプレス  - 電子部品穴あけ装置ヘッド部ガイド

 

中空軸にボールねじをアッセンブリーでバランス良好。「ミリオンプレス」にてユニットとしても販売中です。

剛性アップで繰り返し位置精度が向上。高速運転が可能となりタクトタイム短縮。


GBTMシリーズ

超ロングストローク対応の丸軸ガイド

プレス機支柱用ガイド  - FPD製造装置用大型Z軸ステージ

 

剛性アップでプレス機下死点精度の向上。

ロングストローク対応で大型ステージに最適。位置決め精度向上で不良率の低減。


コラムセット

GBTシリーズ対応のコラムセットが新登場

コラムセット