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ミリオンステージ MSZFシリーズ

超高速!! 超剛性!! コンパクト!! 精密自動Z軸ステージ

ミリオンステージは独自のアイデアにより、超高速・高剛性を実現!! タクトタイム短縮に大きく貢献します。 カタログ仕様以外も、お気軽にお問い合わせください。

 

  1. 超高速位置決め
    モーター直結カム駆動方式で最大100mm/sec
  2. 高剛性・高精度
    ローラーガイド方式ミリオンガイド搭載。X・Y方向繰り返し精度±1.5µm以下。
  3. コンパクト設計
    モーター機内配置により外部へのモーター飛び出し無し。

構造・特長

真直性の高いミリオンガイド採用で、X・Y方向繰り返し精度±1.5µm以下!!
ミリオンステージは「超高速」「高剛性」「高精度」の三位一体です。

ミリオンステージ MSZFシリーズ

駆動方式

モーター直結カム駆動方式を採用。驚異的な高速位置決めを実現。(最大100mm/sec)

コンパクト形状

モーター飛び出しなし!
ミリオンステージはモーターを機内に配置。外部へのモーター飛び出しが無く、スペースを有効に使えます。 また、上・下限リミットおよび原点センサも内蔵。


精密カム

精密カム1独自の技術により精密研削されたカムを採用することにより、安定した精度位置決めが可能。

ガイド方式

ガイド方式2高精度・高剛性ローラー方式ガイド「ミリオンガイド」を4本使用。剛性と滑らかさの両立に成功。

高精度アクチュエータ

高精度アクチュエータ3(株)ハーモニック・ドライブ・システムズ様の超扁平・高精度ACサーボアクチュエータ、FHA-Cminiシリーズを搭載。 小型ながら、高出力・高精度を達成。


用途例

・各種検査、測定用位置決め装置
・半導体関連製造装置

・太陽光パネル関連製造装置
・各種ボンディング装置 など


製品の呼称(型式)

製品の呼称(型式)

ラインナップ/標準仕様

軽くてコンパクトな軽量タイプと、真直性の高い高精度タイプの2種類を標準で用意しました。

ラインナップ/標準仕様

寸法図/寸法表

寸法図/寸法表

寸法図/寸法表

 

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 ミリオンステージ MSZFシリーズ 特注問い合わせシート