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ミリオンアクチュエータ

「ミリオンガイド」を搭載したアイセル独自の超高精度・高剛性直動アクチュエータ!

「ミリオンガイド」を搭載したアイセル独自の超高精度・高剛性直動アクチュエータ! : 1µmの超高精度直動アクチュエータ登場!

多くのご要望に応えて、超小型の20角サイズが新登場!

多くのご要望に応えて、超小型の20角サイズが新登場!

ミリオンアクチュエータ

ミリオンアクチュエータはアイセル独自のローラー式ガイド「ミリオンガイド」を搭載した直動アクチュエータです。 搭載されているミリオンガイドは転動体にニードルローラを採用することにより、 高精度な直進性を実現。 その為、ミリオンアクチュエータは3つの1µmを実現した高精度・高剛性直動アクチュエータとなります。


高剛性・高精度ローラー式直動ガイド「ミリオンガイド」搭載

高剛性・高精度ローラー式直動ガイド「ミリオンガイド」搭載

点から線へ

点から線へ


3つの1µm

3つの1µm - 1µmの剛性・1µmの送り精度・1µmの直進性

用途

ミラー・レンズの微調整、アライメントステージのX・Y・θ軸調整、カメラのフォーカス、試験装置、センサーの調整、Z軸ステージの位置決め


  • ステッパー等各種光学機器のレンズ・ミラー移動、微少角度調整
  • アライメントステージのX・Y・θ軸の調整
  • カメラ、センサーの位置調整
  • 顕微鏡、望遠鏡のレンズ、ミラー調整
  • テーブルの位置決め
  • 半導体、液晶製造装置
  • 各種自動機、試験装置 等


何万光年先の小さな星の観測に欠かせない天体望遠鏡。小さな星を狂いなく、鮮明に映し出す為にはアイセルのミリオンアクチュエータが必要です。



ミリオンアクチュエータは1µmの剛性(*) - 高精度な幅広ローラーの採用により、従来のボールタイプに比べ10倍以上の高剛性を実現しました。(*)使用条件により数値は異なり
ます。

(*)使用条件により数値は異なります。


接触面積の比較

接触面積の比較
ミリオンガイドは接触面積が大きい為、高剛性を実現しています。

側圧剛性たわみ比較

側圧剛性たわみ比較

ミリオンガイド採用事例

ミリオンガイドは、その高剛性を活かして、このようなところにも使われています。

モーターコアの打ち抜き金型
モーターコアの打ち抜き金型
TABテープ打ち抜き金型
TABテープ打ち抜き金型



ミリオンアクチュエータは1µmの送り精度(*) - 高精度な幅広ローラーの採用により、剛性を保ちながら低予圧化に成功。これにより、転がり抵抗を極限まで抑え1μmの送り精度を達成しました。その高い送り精度を活かし、露光機のミラー・レンズ・テーブルの高精度位置決めにミリオンガイドが採用されています。(*)使用条件により数値は異なる場合があります。

(*)使用条件により数値は異なる場合があります。


ローラー式の特長

ボール循環式の場合
ボール同士が接触・衝突することにより摩擦が発生し、摩耗・発塵・発熱が起ります。また循環時に予圧の突入・解除が繰り返され、振動の大きな要因になります。

ミリオンガイド(ローラー式)の場合
ローラー同士が接触する事が無いので、転動体の接触・衝突・摩擦が発生しない。また非循環・低予圧で、突入ショック・振動が少なくスムーズ、微小送りに最適。  
摩擦・渋滞・衝突 - 摩擦・接触・衝突がない


高い動的精度を裏付ける超低振動

ボールタイプと比べ1/20以下の低振動により動的精度を確保。
高い動的精度を裏付ける超低振動

1µmの送り精度を裏付ける追従性

転がり抵抗を極限まで抑えることにより、0.1µm単位での微小送りを可能とし優れた追従性を実現。
1µmの送り精度を裏付ける追従性



ミリオンアクチュエータは1µmの直進性(*) - 高剛性、低振動を実現したミリオンガイドは優れた直進性を持ち、特に繰り返し精度は従来品と比べ3倍以上の精度を実現しました。その特性を生かし、微細なプリント基板穴明けや、半導体の実装等、精密半導体分野でもミリオンガイドが多く採用されています。(*)使用条件により数値は異なる場合があります。

(*)使用条件により数値は異なる場合があります。


X・Y方向 繰り返し精度比較

振動が大きく、低剛性なボールタイプでは位置精度にバラつきがあります。一方、ミリオンアクチュエータは低振動の為優れた繰り返し精度を実現。
X・Y方向 繰り返し精度比較 - 繰り返し精度3倍以上!

X・Y・Z方向 繰り返し位置決め精度

高精度なミリオンガイドとボールねじの組み合わせによりミリオンアクチュエータの繰り返し位置決め精度はX・Y・Z全方向±1.0µm以下を実現。
X・Y・Z方向 繰り返し位置決め精度 - 繰り返し位置決め精度 全方向±1.0µm以下


ミリオンアクチュエータ採用のメリット


1. 超高精度化1. 超高精度化
今まで不可能だった1µm単位の高精度位置決めで製品精度向上!
2. 省スペース - 従来スペース2. 省スペース
コンパクトな構造で場所を取りません!

3. 工数削減3. 工数削減
一体構造でお客様の装置設計の時間が短縮!
取付け簡単で組立時間短縮!

ボディ外側にオートスイッチを標準装備。右へ スイッチ位置調整が容易、省スペース。
モーター付き仕様に加え、モーターレス仕様も標準ラインナップ。
   ご指定モーターの取り付けも可能。 右へ お客様の制御仕様・ご要望に合わせてお選び頂けます。

ミリオンアクチュエータ標準品の発注型式

ミリオンアクチュエータ標準品の発注型式

外形寸法図

GMA2010 □

GMA2010□

GMA2815 □

GMA2815□

GMA4220 □

GMA4220□

GMA6025 □

GMA6025□
*上記仕様は予告なく変更する事がありますので予めご了承下さい。

標準モーター付ケーブル方向選択

M(ケーブル標準方向)

M(ケーブル標準方向)

ML(ケーブルL方向)

ML(ケーブルL方向)

MR(ケーブルR方向)

MR(ケーブルR方向)

*上記図はアクチュエータ先端側より見て、水平取付面を下基準とした場合の図です。

モーターレス仕様 モータータイプ選択

GMA2010 □ モータータイプ

GMA2010□  モータータイプ
選択 D
A 15
B 16

GMA2815 □ モータータイプ

GMA2815□  モータータイプ
選択 L
A 20
B 15

GMA4220 □ モータータイプ

GMA4220□  モータータイプ
選択
A φ5
B φ6

GMA6025 □ モータータイプ

GMA6025□  モータータイプ
選択 d D P
A φ6.35 φ38.1 47.14
B φ10 φ36 50

モーターレスご購入の場合、取り付けされるモーターが上記寸法形状に当てはまるか確認下さい。 上記寸法形状以外のモーターを取り付けされる場合はお問い合わせ下さい。

ラインナップ/標準仕様 ミリオンアクチュエータ(GMAシリーズ)仕様

名称 ミリオンアクチュエータ
型式 GMA2010M GMA2815M GMA4220M GMA6025M
取付角 20×20mm 28×28mm 42×42mm 60×60mm
有効ストローク 10mm 15mm 20mm 25mm
軸方向推力(*1) 定格 30N 50N 150N 300N
瞬時最大 60N 100N 250N 500N
送り速度(*1) 定格 10mm/sec
(モーター600min-1時)
15mm/sec
(モーター450min-1時)
20mm/sec
(モーター400min-1時)
瞬時最大 50mm/sec
(モーター3000min-1時)
100mm/sec
(モーター3000min-1時)
100mm/sec
(モーター2000min-1時)
送りねじ 精密研削ボールねじ
ねじリード 1mm 2mm 3mm
繰返し位置決め精度 ±1.0µm
ロストモーション 3.0µm
分解能 0.2µm/pls
標準搭載モーター (株)三明 ステッピングモーター Si servo  (エンコーダ付)
TS3692N61S02 TS3641N61S02 TS3617N370S04 TS3653N324S04
電源電圧 DC24V±10%
センサ なし 無接点オートスイッチ 2個付き (SMC(株)社製 D-M9N)
質量 約0.25kg 約0.4kg 約1.3kg 約3.7kg
使用温度範囲 0〜50°C
  • (*1)常時最大推力または最大速度で使用しないで下さい。ボールねじの寿命を著しく低下させる恐れがありますので、瞬時でのご使用として下さい。
  • 標準モーター取付時のデータとなります。
  • 質量は標準モーター込み質量となります。(ケーブル質量は含まれていません。)
  • 繰り返し位置決め精度はアクチュエータ温度が一定の場合に限ります。(周囲・アクチュエータ温度変化に伴う影響を考慮しておりません。)

ステッピングモーター

ステッピングモーター Si servo標準モータ付機種には(株)三明 社製のステッピングサーボシステム「Si servo」のモーターのみを取り付けて出荷いたします。
ドライバ(型式:Si-02DE、全サイズ共通)およびケーブル類を別途ご準備のうえご使用下さい。
ドライバ・ケーブル類は弊社にて準備する事も可能ですので、必要に応じてご用命下さい。
上記以外のご希望モーターを取り付けて出荷する事も可能ですのでお問い合わせ下さい。
【(株)三明HP http://www.sanmei.co.jp/index.html】