「ミリオンガイド」を搭載したアイセル独自の
超高精度・高剛性直動アクチュエータ
ミリオンアクチュエータはアイセル独自のローラ式ガイド「ミリオンガイド」を搭載した直動アクチュエータです。 搭載されているミリオンガイドは転動体にニードルローラを採用することにより、 高精度な直進性を実現。 その為、ミリオンアクチュエータは3つの1µmを実現した高精度・高剛性直動アクチュエータとなります。
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製品特徴
1. 超高精度化
今まで不可能だった1µm単位の高精度位置決めで製品精度向上
2. 省スペース
コンパクトな構造で場所を取りません。
3. 工数削減
一体構造でお客様の装置設計の時間が短縮できます。
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ミリオンアクチュエータ3つの1µm
1. 1µmの剛性
2. 1µmの送り精度
3. 1µmの直進性
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製品用途
ミラー・レンズの微調整 / ライメントステージのX・Y・θ軸調整 / カメラのフォーカス / 試験装置 / センサーの調整 / Z軸ステージの位置決め / ステッパー等各種光学機器のレンズ・ミラー移動 / 微少角度調整 / カメラ・センサーの位置調整 / 顕微鏡・望遠鏡のレンズ・ミラー調整 / 半導体・液晶製造装置・各種自動機・試験装置 etc.
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