新製品情報

ミリオンアクチュエータ

「ミリオンガイド」を搭載したアイセル独自の
超高精度・高剛性直動アクチュエータ

1µmを実現した高精度・高剛性直動アクチュエータ

ミリオンアクチュエータはアイセル独自のローラ式ガイド「ミリオンガイド」を搭載した直動アクチュエータです。 搭載されているミリオンガイドは転動体にニードルローラを採用することにより、 高精度な直進性を実現。 その為、ミリオンアクチュエータは3つの1µmを実現した高精度・高剛性直動アクチュエータとなります。

………………………………………………………………

製品特徴

1. 超高精度化

今まで不可能だった1µm単位の高精度位置決めで製品精度向上

2. 省スペース

コンパクトな構造で場所を取りません

3. 工数削減

一体構造でお客様の装置設計の時間が短縮できます。

………………………………………………………………

ミリオンアクチュエータ3つの1µm

1. 1µmの剛性

2. 1µmの送り精度

3. 1µmの直進性

………………………………………………………………

製品用途

ミラー・レンズの微調整 / ライメントステージのX・Y・θ軸調整 / カメラのフォーカス / 試験装置 / センサーの調整 / Z軸ステージの位置決め / ステッパー等各種光学機器のレンズ・ミラー移動 / 微少角度調整 / カメラ・センサーの位置調整 / 顕微鏡・望遠鏡のレンズ・ミラー調整 / 半導体・液晶製造装置・各種自動機・試験装置 etc.

 

多くのご要望に応えて、超小型の20角サイズが新登場!

 

商品に関するお問い合わせはこちらから